本课程由中国科学院微电子研究所研究员陈宝钦老师对标准《光掩模缺陷分类和尺寸定义的准则》（标准号：GB/T 16880-1997）进行解读。

视频主要内容为：

1、标准组织制定和归口管理机构介绍；

2、《光掩模缺陷分类和尺寸定义的准则》国家标准的背景，主要技术内容、及制定过程；

3、标准实施与其他标准的关系。

解读专家简介：陈宝钦

中国科学院微电子研究所研究员，中国科学院大学教授，全国半导体设备和材料标准化技术委员会副主任委员兼微光刻分技术委会会秘书长等。一直致力于微电子微光刻领域的科研和教学，学术成果丰硕、著作等身，标准化经验丰富。