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*本课程仅供学习使用,不得用于任何商业用途，违者必究。
解读标准：
课程简介：
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本课程由全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分技术委员会秘书长周朋云进行解读。
半导体制造工艺中，含氟电子特气主要用于清洗及蚀刻工艺，本次课程介绍了GB/T18867-2014《电子工业用气体 六氟化硫》、GB/T31058-2014 《电子工业用气体 四氟化硅》等6个含氟电子特气国家标准的编制背景、适用范围及技术内容等方面的内容，为广大半导体从业者提供技术支撑。
关联标准清单如下：
GB/T 18867-2014 电子工业用气体 六氟化硫
GB/T 31058-2014 电子工业用气体 四氟化硅
GB/T 32386-2015 电子工业用气体 六氟化钨
GB/T 31986-2015 电子工业用气体 八氟丙烷
GB/T 34091-2017 电子工业用气体 六氟乙烷
GB/T 34085-2017 电子工业用气体 三氟甲烷
国家市场监督管理总局
国家标准化管理委员会