微机电系统（MEMS）广泛应用于各种设备和仪器上，因其体积小、功耗低、价格便宜、易于大规模制造等特点，已经在多个领域被市场所接受。但由于MEMS器件的失效机理和失效模式与传统的IC器件不同，完全沿用传统IC器件的可靠性测试方法无法保障MEMS器件的可靠性，有必要制定微机电系统可靠性综合环境测试方法的国家标准、规范，帮助MEMS器件更好的发展。