报告人来自中国科学院化学研究所分析测试中心分别对表面化学分析领域两项推荐性国家标准做出了解读。

薄膜是纳米科技、光电信息等高新技术产业的基础。XPS方法可以确定薄膜厚度以及膜中的元素、元素化学态及其深度分布。因而本标准对于发展纳米科技、光电技术等产业有着重要且现实的意义。

标准GB/T 36401-2018等同采标自ISO标准ISO 13424:2023，适用于XPS薄膜分析。具体说明了采用X射线光电子能谱（XPS）方法对基材上薄膜的分析报告所需的最少信息量要求。技术内容包括薄膜分析方法综述；样品、仪器和操作；使用常规XPS、变角XPS、XPS溅射深度剖析、峰形分析和可变光子能量XPS的方法对各类薄膜作为深度函数的化学组成的测量方法及其实验条件、分析参数和分析结果报告。