本视频对国家标准GB/T 30702-2014表面化学分析 俄歇电子能谱和X射线光电子能谱 实验测定的相对灵敏度因子在均匀材料定量分析中的使用指南

俄歇电子能谱(AES)和X光电子能谱(XPS)均是重要的表面分析技术。电子能谱定量分析是其中重要而又急需的技术。目前电子定量分析，常采用相对灵敏度因子法。但由于实际使用中，相对灵敏度因子复杂，还没有完整理论方法计算，只能用实验方法确定。而相对灵敏度因子不仅涉及到被测材料样品且涉及到所用仪器参数的选择。因此必须制定相应的标准来规范材料灵敏度因子的测试和使用。测量和使用相对灵敏度因子是定量分析的基础，有了准确的灵敏度因子和正确的使用方法，才能进行可靠的定量表面分析。

本标准指导表面分析中电子能谱定量分析，规范测试和使用AES和XPS定量分析中的基本参数-相对灵敏度因子。