电子级砷化氢是电子工业的重要基础材料之一，是一种性能极佳的电子特气，在半导体工业中主要用于外延硅的N型掺杂、硅中的N型扩散、离子注入、生长砷化镓和磷砷化镓，以及形成半导体化合物等。随着集成电路技术进步，晶圆制造达到12英寸，对高纯砷化氢的质量提出更高要求，GB/T 26250-2010《电子工业用气体 砷化氢》标准已经执行近15年，随着技术进步和市场变化，适用范围、技术要求及试验方法等内容都需要修订。2010版标准已无法满足现代集成电路产业的要求，因此重新修订该标准。

本课程将从标准编制背景、编制过程、与2010版的差异等方面开展详细解读。