电子级六氟化硫作为集成电路用量大、纯度要求高的基础材料，是国家重点鼓励发展的产品和产业，符合《“十四五”推动高质量发展的国家标准体系建设规划》中建设制造业高端化领域的材料标准。

       随着集成电路技术进步，晶圆制造达到12英寸，对高纯六氟化硫的质量提出更高要求，GB/T 18867-2014《电子工业用气体 六氟化硫》已经执行10年，无法满足现代集成电路产业的要求，随着技术进步和市场变化，适用范围、技术要求及试验方法等内容都需要修订，因此重新修订该标准。

本课程将从标准编制背景、编制过程、与2014版的差异等方面开展详细解读。