主讲人就国家标准GB/T 42659—2023（ISO 11952:2019，IDT）适用于高精度几何量测量的扫描探针显微镜（SPM）的校准，介绍了包括扫描轴间串扰、垂直度偏差、xyz轴校准因子等仪器特性的测量程序、所用的测量标样及测量不确定度计算方法，旨在规范SPM的校准程序，确保几何量测量的准确性和可比性。